井绪峰、洪治等人在Advanced Functional Materials上发表有关微纳米超表面器件的综述论文

近日，中国计量大学信息工程学院井绪峰教授、洪治研究员等人在国际知名期刊《Advanced Functional Materials》（中科院一区TOP期刊，IF=18.5）上发表有关微纳米超表面器件的综述论文《Review for Micro-Nano Processing Technology of Microstructures and Metadevices》。文章通过对百余个典型器件案例的深度剖析和总结，在文章中详细介绍了多达21种微纳加工技术。文章重点介绍了电子束光刻（electron beam lithography）、飞秒激光加工（femtosecond laser processing technology）、聚焦离子束光刻（focused ion beam lithography）、增材制造（additive manufacturing）、纳米压印（nanoimprinting）及自组装技术（self-assembly）等六大新兴工艺的实验机制和前景；同时，深入探讨了湿法光刻（wet lithography）、等离子刻蚀（plasma lithography）、深反应离子蚀刻（deep reactive ion etching）及照相平版印刷技术（photolithography）等传统方法的迭代升级；此外，首创性地建立了包含分辨率、适用材料、工艺特性等维度的多参数对比表，为超表面制造的技术选型提供量化依据。