中国计量大学太赫兹技术与应用研究所
太赫兹时域光谱仪(TDS)
目前最常用的太赫兹波谱测量设备。TDS利用超短激光脉冲泵浦光导天线产生太赫兹脉冲，使用光导天线或者电光采样进行太赫兹脉冲探测。
TDS: Z-Omega Z2
返波管太赫兹谱系统(BWO)
连续可调谐太赫兹辐射源，具有输出功率大、频谱分辨率高等特点。
BWO: MicroTech
光子混频太赫兹成像系统(自制)
利用Pump-Probe技术将两束从外腔半导体激光器产生的单频激光（~800nm）在光导天线中进行光子混频，实现连续太赫兹波的辐射、太赫兹场强振幅和相位的相干探测。系统可用于太赫兹成像测量等。
PMS: 自建
光子混频太赫兹频域光谱仪(自制)
利用一个固定频率和一个可调谐DBR半导体激光器（~1550nm）进行光子混频，实现宽光谱范围、高分辨率太赫兹光谱测量。
自建频域光谱仪
超材料加工平台（自建）
为适应塑料基底上的金属微结构加工，简化光刻工艺，实验室自建了激光诱导化学镀曝光系统和大景深的数字激光直写曝光系统。
自建加工平台
台阶仪和测量显微镜
微加工器件加工效果评价中，纵向厚度和横向尺寸都是非常重要的参数。接触式台阶仪保证了厚度的实际测量。测量显微镜提供横向尺寸的表征。
Bruker DektakXT & Nikon
